太陽（yáng）能PECVD 石（shí）墨舟異常情況處（chù）理和日常維護

太陽能PECVD 石（shí）墨舟異常情況處理和日常維護

1，批次與（yǔ）批次之間不（bú）滿舟如何？不滿舟會（huì）有什麽結果？
上一批不滿一舟用下一批（pī）次填滿（mǎn），並分別記錄區分開來。
不滿（mǎn）舟進行工藝，沒（méi）有（yǒu）矽片的舟片上會（huì）沉（chén）積SIN膜，石墨舟物（wù）理性質下降，會產生紅片，色差片等。
2，一區二區流（liú）程卡如何（hé）對接，數量如何（hé）確認？
刻蝕通過傳送箱流入的合格品，當場清點數量即可。
3，石墨舟工藝要求的清洗周（zhōu）期、刻蝕周期？預處理的方式有幾種不同？預處理不（bú）合格返工片多如何處理？
石墨舟運行120-150次需刻蝕，刻（kè）蝕滿6次需清洗
預（yù）處理方式預處理方式：
NEW BOAT PRZ 新舟插上矽片預處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕後沒插矽片（piàn）預處理
AFTETCH PRZ 舟刻蝕後（hòu）插矽片預處（chù）理
預處理後返工片多，加工藝時間，若還不行，需進行拆洗。
4，刻（kè）蝕、清洗、預處理的（de）整個流程？
當石墨舟運行120-150次：
滿6次刻蝕-拆（chāi）洗-烘幹-預處理
不滿6次刻蝕-刻蝕-預處理
5，色差片產生的幾種原（yuán）因？
清洗、刻（kè）蝕工序減薄量不穩定
石墨舟物理性（xìng）質下降（SIN沉積過多）
鍍膜時間（jiān）不同
微波峰值不穩定（設（shè）備原因）
6，色（sè）斑批片產生的原（yuán）因？
矽片表麵清洗不幹淨
擴散間偏磷酸滴漏
清（qīng）洗、刻蝕、風刀沒吹幹或堵塞
7，檢驗標（biāo）準？（色差、色斑片的判定標（biāo）準）
以QC為準
8，每台機的石墨舟配置標準？小車的配置是怎樣的（de）？
每台（tái）機石墨舟標準配置7個，為正常輪轉（zhuǎn）生（shēng）產，小車配置4個（gè）。
9，為什麽會出現舟漿分離（lí）？
石墨舟電極放反，SLS漿在爐管中較長時間未出，導致（zhì）變形，檢查要到位，及時觀察。
10，鍍膜（mó）的整個過程。
工（gōng）藝開始-充氮-進舟-漿降至低位-漿在低位（wèi）退出（chū）-管（guǎn）內抽真空並進行管內壓力測試-通過高頻電源用NH3預清理和（hé）檢查-清洗（xǐ）管路-測漏-恒溫-高頻（pín）電源用NH3預清理-鍍（dù）膜-結束鍍膜-抽真空及測試壓力-清洗管路-將管內剩餘NH3、SH4抽走、防止與空氣（qì）接觸爆炸-充氮-漿在（zài）低位進入爐內-SLS移至高位-退舟-結束工藝
12，備用舟的管理（lǐ）。
一條線（xiàn）總共20個（gè）舟，14個生產，6個備用，備用舟不（bú）使用時應保存在相應的石墨舟櫃內。
13，PECVD每條線每個班要求的產量，在製品要求（qiú）的上下限，工藝允許在製品的等待時間是多長。另外要求刻（kè）蝕保證的在製品數量是（shì）多少。
產量（liàng）13500，留絲網在製品4000PCS左右，刻蝕流（liú）入在製品1800PCS左右。
14，工藝重點參數
膜厚： 100nm 折射率： 2.0
鍍膜的好壞，一般情況下是根據膜的顏色來判斷的。正常（cháng）膜麵（miàn）為淡藍色，當膜偏厚時顏色會發白，偏薄時顏（yán）色會發紅
因PECVD製程隻能通過調節時間來控製膜厚，所以膜麵質量的改善很大一部分需要從前站來改善。
絨麵偏大時，膜的沉積（jī）速率變大，反之變小。
鍍膜時間偏（piān）長，膜麵發白，鍍膜時間偏（piān）短，膜（mó）麵發紅。
絲網印刷：
1，漿料的管理？
產線每天隻領用一（yī）天的用量，由崗（gǎng）位專（zhuān）員根據（jù）產線的庫存提供領用量給物料員並開（kāi）單（dān），物料（liào）員負責領料交給（gěi）崗（gǎng）位專員，崗位專員補齊現（xiàn）場本班的用量，然後將下一班的用量放在生產線存放區域，由陳（chén）普做賬
2，目（mù）前使用（yòng）的有哪幾種漿料，分別攪拌時間？
目（mù）前使用的漿料（liào）有PV147銀漿（第三道），CN-334 462銀漿（第一道），也有（yǒu）PV141銀漿（jiāng），但不用。鋁漿R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L現不用）如果突然絲網做到來料加工的片子，漿料如（rú）何使用？銀漿攪拌24小時（shí）以（yǐ）上，鋁漿攪拌半小時以上，攪拌速（sù）度要求（qiú）。
3，各道印刷重量（liàng）標準？
第一道（dào）：0.12±0.02g（共18個背電極（jí）） 第二道：1.5±0.12g 第三（sān）道：0.2±0.02g每瓶2KG，都是攪拌（bàn）一瓶用一瓶，其中第一道兩天（tiān）使用三瓶半；第二道每個班使用20瓶左右，第三道每（měi）天使用3瓶左右。陳普第二天發兩次，上午（wǔ）9點一次，下午16：00一次。
4，斷柵連柵的區別？
斷柵不超過六根或其中任何一根不超（chāo）過兩（liǎng）毫米都屬於A級片和連柵（shān）的區別不大。
5，每個烘箱溫度？速度，時間。
共有58隻托盤，轉一圈的時間都在10分鍾左右，必須大於8分（fèn）鍾。
第一個烘箱的溫度分別為（wéi）：100℃ 120℃ 140℃ 160℃
第二個烘箱的溫度分別為：140℃ 160℃ 180℃ 200℃
6，絲網印刷參數調整的允（yǔn）許範圍？
絲網間距： -1200 um~ -1500um
刮刀深度（dù）： -1300 um~ -1800um
壓力： 66-72N
印刷速度：200-240Sec
7，外加工不（bú）需要印刷STP時是如何實（shí）現的（de）？封網漿的作用？如何去除封網漿。
將網版上的STP用（yòng）封網漿堵實（shí），封網漿的作用是封有漏洞的網（wǎng）板，即補（bǔ）網版，在網版幹燥（zào）後使用，去除（chú）封（fēng）網漿用清水擦拭即可。
8，鬆油醇的作用？為什麽隻在第三倒使用？
鬆油醇用來擦拭網版，第三道（dào）正電極經常斷線（xiàn）（斷（duàn）線分兩種，一種是網版上有異物，另（lìng）一種是網（wǎng）版被漿料堵住，有網版經常堵網，所以要使用鬆油醇，對漿料有（yǒu）很好的溶解作用），所以用來擦拭，第三道停下來超過3分鍾必須進行擦拭。鬆油醇主要是用來擦拭網版的，片子或斷柵，以及網版的清洗都（dōu）是用乙醇。
9，斷（duàn）線、粗點、虛印的產生原因、控製方法、檢（jiǎn）驗標準？
第二道台麵不幹淨，或網版上有幹漿料（liào）掉（diào）在台麵上印刷烘幹後引起的鋁粉會造成斷線（xiàn），或第三道網板上有髒東西（xī）也會有斷線，網板張力不夠或參數調（diào）整會造（zào）成粗點（diǎn），虛（xū）印。另外，第二道易幹，如（rú）果不均（jun1）易產生顆粒。控（kòng）製方法：勤擦以麵，多注意印刷質量，合理調（diào）整參數控製（zhì），另外，5-10分鍾之間看一次印刷的（de）效果，一次連續看5-10片。
10，壓版如何判定？如何避免？
出現同樣的碎片，或每四片有一片（piàn）有一樣的隱裂可（kě）以判定為壓版。（對印刷後的片子中央及四周輕輕的（de）敲擊，看（kàn）有無（wú）異常，因為細（xì）小的壓版可能要到燒結後才能體現，這樣壓版的量是非常（cháng）大的）避免：勤擦台麵，多注意上料的片子是否有碎片，台麵紙經常更換，保持台麵平整。（碎片千萬不能掉進正在（zài）印刷的漿料中，那是最頭疼的事（shì），也是最不容（róng）易被發現的）
11，網版使用壽命（mìng），領用注意事項？
第三道A版使用壽命為3萬，第一道B版10萬，第二道C版（bǎn）5萬，領用（yòng）時注意型號（hào）不要領錯。（隻針對156多晶），刮條（tiáo）與網版壽命同樣。
12，報廢後如何處理（lǐ）？
網板（bǎn）報（bào）廢（fèi）後要有網板使用壽命單，對網版壽命不到就更換的需經過工藝簽字。更換下來的網版（未（wèi）到報廢要求的）如何處理？機器長時間不（bú）印刷如何進行預（yù）防漏漿操作，印刷模式需要如何更改？
13，燒結爐的溫度？速（sù）度，時間（jiān）。
6個（gè）溫區：500℃ 520℃ 550℃ 570℃ 800℃ 802℃，根據片子厚度，工藝會做調整，速度為4600MM/MIN。
14，為什麽漿料不能混用，會產生什麽嚴重後果？（注意鏟刀、刮刀頭未清洗幹淨不（bú）能混？）
漿料混用後會（huì）嚴重影響片子的電性能，轉換（huàn）效率（lǜ），所以（yǐ）漿料不能混用，鏟刀，刮刀頭每次都必須擦拭幹淨。
15，要求PECVD到絲網的（de）在製品數量是多（duō）少？
一般（bān）在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，一般根據實際情（qíng）況來看。絲（sī）網（wǎng）的（de）產量平均每小（xiǎo）時為1200-1380PCS左右，總產量要求每個（gè）班13000PCS，生產一個產品的時間為2.7S。
16，絲網印刷工（gōng）序違規動作：
徒手不可接觸任（rèn）何機器設備
上料盒（hé）托住底部
停機後才可以（yǐ）取片
不可徒（tú）手隨意打（dǎ）開設備，設備在維修時才可以打開
絲網下料，注意一（yī）次隻可取一片（piàn）
17，絲網印刷參數（shù）調整原則
印刷方式（shì）：
1. 不刮（guā）槳料交替印（yìn）刷 2. 不刮槳料每片印刷兩次
3. 先印刷後刮槳料 4. 先刮槳料後印刷
網版：
網版間距：網版與印刷平（píng）台之間的距離。（以印刷平台為0參考點，平台上方為負方向，網版正常停（tíng）止時間距Spec: -3000um，印（yìn）刷時間距Spec: -900~-1300）
網版間距調整原則：在保證質量的前提下，網版間（jiān）距越小越好，太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不（bú）良和損壞網版（bǎn）。
刮條：
刮條深度： 刮（guā）條印刷時使網版麵（miàn）下降的距離。（以網版麵為0參（cān）考點，網版下方為負方（fāng）向（xiàng）。網版正常停止時（shí）的位置
Spec: 5000um,印刷時的位置為：Spec: -900~-1300um）。
刮條深度和壓力（Spec:50~70N）調整原則： 在保證印刷質量的原則下，刮條下降深度與壓力越小越好（hǎo），刮條下降過深或（huò）壓力太大，易碎片和損壞網（wǎng）版（bǎn），刮條（tiáo）下（xià）降（jiàng）深度不（bú）夠或壓力太小易印刷不良或沾版。
印刷速度：150~300mm/s 刮槳（jiǎng）料速度： 450mm/s
絲網印刷時遵（zūn）循以下原則：
刮條壓力&刮條深度與槳（jiǎng）料下漏量成反（fǎn）比，
絲網間距&刮（guā）條速度與槳料下漏量成正比。
18，各種流（liú）程的作用及常見異（yì）常
絲網印刷是通過刮條擠壓（yā）絲（sī）網（wǎng）彈性形變後將漿料漏印在需要印刷的材料上的一種印刷方式。
1. 背電極印刷
背（bèi）電極作用：用（yòng）於組件（jiàn）時焊接用（yòng）。
125矽片有2根背電極， 156矽片（piàn）有3根背電極，其中（zhōng）多晶（jīng）為（wéi）分段類型的，而單（dān）晶為整條類（lèi）型的，更換網版時必須校正網版位置，使兩側的背電極距離Si片邊緣基本相同.
2. 背電場印刷
作用： 鈍化矽本體（tǐ），提高電池開路電（diàn）壓（在工藝範（fàn）圍之內，背電場越厚（hòu）越好）
常見異常：
A. 鋁珠：
如果是因為燒結所致，就調（diào）節3、4區溫度（dù）；但若是鋁（lǚ）珠分布在履帶（dài）頂針四周，可考慮是否為履帶過髒，或是頂針磨損所致，此時需要清洗履帶，嚴（yán）重時可以考慮更換履帶；另外，鋁珠的產生也可能是由於二（èr）道印刷過厚導致，那麽可以在不影（yǐng）響電性能（néng）的情況下，減輕二道印刷重量。
B. 鋁（lǚ）苞：
a. 前道清洗減薄（báo）量大，使絨麵過大，易產生鋁苞。
b. 背電場印刷的太薄，剛換過網版未及時控（kòng）製好背場印刷重（chóng）量，易產生鋁苞，此時隻需（xū）控製好印刷參數（shù）和印刷重量就可以（yǐ）解決。
c. 網版的小洞破損導（dǎo）致鋁苞。看（kàn）洞（dòng）的（de）破損情況（kuàng），如果可以用膠帶修（xiū）補，且試做OK後可正常生產，若修補無效須更換網版.
d. 粘板：三個參數同時增大，降低速（sù）度
3. 正電極印刷
作用（yòng）： 收集電流
156矽片副柵線有78根，主柵（shān）線有3根
125矽片副柵線有62根，主柵線有2根（gēn）
注意（yì）事項（xiàng）：
正電極需返工的（de）矽片，在擦拭後應該正麵對正麵疊放。正反麵一起疊（dié）放時背電場鋁槳會（huì）粘到正電極上，從而影響轉換效率.
常見問題：
A：斷線：當網版（bǎn）被堵時，槳料無法下漏所至，隻需擦拭網版即可
B：虛印（yìn）：增大壓力，刮刀深度，降低（dī）絲網間距
C：粗點：加大絲（sī）網間距，減小刮刀深度和壓力，加大印刷（shuā）速（sù）度。刮刀（dāo）剛（gāng）下去粗點，減小刮刀深度。刮刀剛上去粗點（diǎn），加大絲網間距。
4. 烘幹爐
作用：去除槳料中（zhōng）的有機（jī）物質（zhì）。
5. 燒結爐
作用： 讓上（shàng）下電極（jí）行成良好的接觸（chù），提高轉換效率。
爐（lú）內氣氛（fēn）是在N2的保護（hù）情況下進行燒（shāo）結的，燒結溫度主要是通過（guò）影響RS&RSH來提高轉換效率的.
常見問題：
a. 燒結不透：將主燒結區5、6區溫度適當加大3度左右，測試後看電性能，如果沒有（yǒu）達到理想的燒結效果可對其進行再優化。
b. 燒穿：根（gēn）據燒（shāo）結後的測試數據（jù），降（jiàng）低（dī）燒結5、6區溫度，然後再進行測試，直到（dào）燒結正常（cháng）。