在太陽能光伏行業(yè),單晶爐熱場的好壞(huài)直接關係到單晶(jīng)矽的質量
在太(tài)陽能光伏行(háng)業,單晶爐熱(rè)場的好壞直接關係到單(dān)晶矽的質(zhì)量,合格(gé)的熱場能(néng)夠生長出高質(zhì)量的單晶,因此(cǐ)創造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝(yì)上有非(fēi)常重要的因素。
在太陽能光伏行業,單晶爐熱場的好壞直(zhí)接關係到單晶矽的質量,合格的熱場能(néng)夠生長出高質量(liàng)的單(dān)晶,因此創(chuàng)造良好的熱場條件,在直拉單晶工藝上有非常重要(yào)的因素。石墨(mò)是單晶(jīng)生(shēng)長的載體,石墨(mò)在直(zhí)拉(lā)單晶生長(zhǎng)爐中(zhōng)以(yǐ)高純石墨和等靜壓石墨加工件(jiàn)為主。
根據實際情況的需要,熱場的大小根據石英坩堝的直(zhí)徑大小來劃分的,目前我國(guó)熱場從φ12"~φ28"都有,一般情況下φ18"~φ22"居多。
我們在這裏所(suǒ)講的單晶(jīng)爐的熱係統就是所謂的熱場,,熱場(chǎng)一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、(三(sān)瓣式)石墨坩堝、坩堝托杆、坩堝(guō)托盤(pán)、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,未來防止漏矽,爐底、金屬電極、托杆都設置了保(bǎo)護板和保護套。
石墨加熱器
加熱器是熱場中(zhōng)很重要的部件,是直接發(fā)熱體,溫度最高的時候可以達到1600度以(yǐ)上。常(cháng)見(jiàn)的加熱(rè)器(qì)有三種形狀,筒狀、杯狀、螺旋(xuán)狀。石墨接觸(chù)到的單晶矽加(jiā)熱器形狀一般都是(shì)直筒狀的。一般情況下,加熱器采用的高(gāo)純石墨加工。
石墨(mò)電極的作用平穩固定加(jiā)熱器並通過他歲加熱器輸送電流。因此在電極要(yào)厚重,結實耐用、表麵要光滑(huá)平穩,保證良好的接觸麵,通電時不打火(huǒ),石墨電極也是有高純石墨加工的。
坩堝托杆、坩堝和托盤共同構成(chéng)了石墨坩堝的支撐體,要求和下軸結(jié)合牢固,對中性良好(hǎo)在下軸進行轉動(dòng)時,托杆及托盤的擺渡(dù)小於等於0.5mm石墨支撐體的高度(dù)是(shì)可以調節的。
保溫罩分為上、中、下保溫罩(zhào),保溫罩是由一個保溫筒(tǒng)外麵包裹(guǒ)石墨碳氈而成,石墨碳氈的包(bāo)裹的層數(shù)根據情況而定。下保溫罩組成(chéng)了底部的保溫係統,它作用是加強鍋底(dǐ)保(bǎo)溫,提高(gāo)堝底溫度(dù),減少熱量損失。
保溫蓋有保溫上蓋、保溫碳(tàn)氈和保溫(wēn)下蓋組成,即兩層環狀(zhuàng)石墨之間夾一層石墨碳(tàn)氈(zhān)組成。導流筒主要是未來控製熱場的溫度梯(tī)度和引導氬氣(qì)流。
石(shí)墨壓(yā)環由幾截弧形構成的圓形環狀石墨件,放置在蓋板與爐壁接觸處,是為了防止熱量和氣體(tǐ)從壁爐與蓋(gài)板的縫隙間的通過。