關（guān）於PECVD石墨舟工序標準物（wù）質的使用?

關於PECVD石墨舟工序標準物質的使（shǐ）用?

關於標準物質，大家都知道（dào）在計量時是做標準件使用的，石墨舟本文中講到的標準物質將這一（yī）標準物質進行了詳細化。

　　例（lì）如在PECVD工序主要操作（zuò）是使用機（jī）器手進行工作，因此所（suǒ）提及的標準物質為標準機械手、標準（zhǔn）石墨舟及標準（zhǔn）上料小車三部分（fèn）。

　　眾所周知，機械手會有相應的準確度，在使用一段時間後，會由於（yú）使用的原（yuán）因會造成一定的偏差，因此會造成（chéng）在上料過程中夾石墨舟會傾斜，造成摔片現象。因此需要（yào）對機械手進行定期的校正，但（dàn）是由於技術方麵的問題，我們不（bú）能總是（shì）去調整（zhěng）機（jī）械手，所以我們將問題轉向方便調整的石墨舟及上料小車上。

　　石墨（mò）舟在使用的過程中，不會造成什麽大的問題，主要是其載體的問題，那就是上料小車。

　　上料小車在使用一段時間後會與機械手形成匹配不良，導致在（zài）上料的過程中出現各種問題，導致整（zhěng）體的上料質（zhì）量指標波動（dòng）。

　　首先（xiān），上料小車在使用時會由於使（shǐ）用的原因會造成小車的不平穩，導（dǎo）致小車上石墨舟的位置偏移（yí）；再次，由於操作小車的人員不同，因此也會（huì）對機械手有不同的影（yǐng）響。

　　由於是一台機械手對應多台上料小車，因此我們采取對小車進行規範的方（fāng）法。

　　一、我們製定（dìng）標準小車（注：此小（xiǎo）車並不是理想狀態下各方麵參（cān）數均為最規範的（de）小車，而是任一小車，主要是調整機械手與其對應關係）。並將石磨舟放（fàng）置在小車上的位置及方向進行定位，我們將其定義（yì）為標準，並以此來調整機械手，保證機械手在此（cǐ）小（xiǎo）車和（hé）石墨舟的位（wèi）置為最佳上料位置。

　　二、將小車的（de）高度及地麵的存放位置進行規定，采用8S標準定位方法，避免由於小車的高度位置等低級問（wèn）題導致的上（shàng）料時的（de）摔片現（xiàn）象。

　　三、以（yǐ）此小車為標準，調整（zhěng）其他對應該機械手的小車，保證其標準小車的標準作用的發揮。

　　四、對機械手進行定（dìng）期調試（shì），保證（zhèng）機（jī）械手與小車的匹配性。

　　五、對所（suǒ）有小車進行定期保養（yǎng）維護，保證（zhèng）小（xiǎo）車的標準一致性。

　　通過上述我們措施的實施，有效的減少了上料過程中的摔片現象及對石磨舟的影響。

　　通過此案例，我們還在其他工序對標準物質進行了製定，如在PE工序對不同顏色的片子進行分類，在印刷前就對問題片進行分類，可以降低生產成本，及（jí）在印（yìn）刷過程中造成的（de）資料浪費。並在印刷工序增加標準色板的電池片，保證分（fèn）色時（shí）能實現目視化，減少了色（sè）差問題出現在概率（lǜ）。