單晶爐配件之石墨熱場的選購

單晶爐配件之石墨熱場的選（xuǎn）購直拉單晶製造法（Czochralski，CZ法）是把原料（liào）多矽晶塊放（fàng）入石英坩（gān）堝中，在單晶爐中加熱融化 ，再將一根直徑隻有12mm的棒狀晶種（稱籽晶）浸入融（róng）液中。在合適的溫度下（xià），融液中的矽（guī）原子會順著晶種的矽原子排列結（jié）構在固液交界麵上（shàng）形成規則的結晶，成為單晶體。把晶種慢慢旋轉並向上提升，融液中的矽原子（zǐ）會在前麵形（xíng）成的單晶體上繼續結晶，並（bìng）延續其規則的（de）原（yuán）子排列結構。若（ruò）整（zhěng）個結晶環境穩定，就可以周而複（fù）始地形成結晶，最後形成一根圓（yuán）柱形的原子（zǐ）排列（liè）整（zhěng）齊的（de）矽單晶晶體，即矽單晶錠。當結晶加（jiā）快時，晶體直徑會變粗，提高升速可以使直徑變細，增加溫度能抑製（zhì）結晶（jīng）速度。反之，若結晶變慢，直徑變細，則通過降低拉速和降溫去控製。拉晶開始，先引出一定（dìng）長度，直徑為3～5mm的細頸，以消除結晶位錯，這個過程叫做引晶（jīng）。然（rán）後放大單晶體直徑至（zhì）工（gōng）藝要求，進入等徑階段，直（zhí）至大部分矽融液都結晶（jīng）成單晶錠，隻剩下少量剩料。停爐後取出單（dān）晶棒，一個工藝過（guò）程結束。