單(dān)晶爐配件之石墨熱場的選購
單晶爐配件之石墨熱場的選購
東莞市捷誠石墨製品有限公司(sī)專業生產單晶、多晶石墨(mò)熱場配(pèi)件,石墨(mò)加熱器、石墨保溫桶、三瓣鍋、石墨坩堝、石墨托、石墨斧等各種石墨製品。 直(zhí)拉單晶製造法(Czochralski,CZ法)
直拉單晶製造法(Czochralski,CZ法)是把原料多矽(guī)晶(jīng)塊(kuài)放入石英坩堝(guō)中(zhōng),在單晶爐(lú)中(zhōng)加熱融化 ,再將一根直(zhí)徑隻有12mm的棒狀晶種(稱籽晶)浸入融液中。在合(hé)適的(de)溫度(dù)下,融液(yè)中的矽原子會順著晶種的矽原子排列結構在固液交界麵(miàn)上形成(chéng)規(guī)則的結晶,成為(wéi)單晶體。把晶種慢慢旋轉並向上提升,融液中的矽原子會在前(qián)麵形成的單(dān)晶體上繼續結晶,並延續其(qí)規則的原子排(pái)列(liè)結構。若整個(gè)結晶環境穩定,就可(kě)以周而複始地形成(chéng)結晶,最(zuì)後形成一根圓柱形(xíng)的原子排列整齊的矽單晶晶體,即矽單晶錠。當結晶加快時,晶(jīng)體直徑會變粗,提(tí)高(gāo)升速可以使直徑變細,增加溫度能(néng)抑製結晶速度。反之,若結晶(jīng)變(biàn)慢,直徑變細,則通過降低拉速和降溫去控製。拉晶開始,先引出一定長度,直徑為3~5mm的細頸,以消除(chú)結晶位錯(cuò),這個過程(chéng)叫做引(yǐn)晶。然後放大單晶體(tǐ)直徑至工藝要求,進(jìn)入等徑階段,直至大部分矽融液都結晶成單晶錠,隻剩下少量剩料。停爐(lú)後取出單晶棒,一個工藝過程(chéng)結束。
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一、單晶矽石墨熱場,是一個及物理(lǐ).化學(xué).幾何綜合理論為一體,專(zhuān)門研究人員經過多年反複考證。多年經驗總結製定。
二、熱場采用細結構中粗石墨做爐底護(hù)盤.保溫罩.上下蓋(gài)。采用進口等靜壓石墨做加熱器.坩堝.導流筒.托杆.鍋托等,保證了石墨坩堝的強度.及純度。
三、熱場是單晶(jīng)矽成(chéng)晶的重要條件之(zhī)一,熱場的梯度分布直接影響著能(néng)不能拉出單晶,以及拉製單晶的質量好壞,其材質好壞直接影(yǐng)響熱(rè)場壽命。本公司與中國最早(zǎo)生產單晶矽企業(yè)合作十幾年。合作結合國內外石墨材料一同研製成(chéng)功18-22寸石墨(mò)熱場(chǎng),成立(lì)了(le)自己(jǐ)的石墨熱場(chǎng)本(běn)公司的石墨熱場經過晶龍集團.常州天合(hé).河北逐鹿單晶矽生產基(jī)地。長期應用,對所用石墨材料及整個熱場壽命加以肯定。為以後生產特製定(dìng)如下標準。